晶圆校准器是一种应用于晶圆大气传输过程中的晶圆预对准装置，通过Sensor旋转扫描晶圆找到晶圆上的缺口(Notch)位置，然后调整校正晶圆的位置和方向，以确保晶圆传输过程位置和方向的一致性,方便后续工艺的进行。
名称：
手机：
邮箱：
